当时立宪派与革命派为改革方式发生争执，一开始立宪派占上风，清廷也承诺实行立宪。1907年清廷筹设资政院，预备立宪，并筹备在各省开办咨议局。1908年7月颁布《各省咨议局章程及议员选举章程》，命令各省在一年之内成立咨议局。同年颁布《钦定宪法大纲》，以确立君主立宪制政体，成立代议会。在立宪派成员的请愿下，清廷宣布把预备立宪缩短三年，预定在1913年召开国会。同年光绪帝与慈禧太后皆去世，溥仪继位，即宣统帝，其父载沣担任监国摄政王。1911年5月清廷组成由庆亲王爱新觉罗·奕劻领导的“责任内阁”，这是中国历史上首次君主立宪。不过，该内阁中的很多成员为皇族身份，故被称为“皇族内阁”，引发立宪派的不满和失望，很多转向于革命派合作。
同年5月四川等地爆发保路运动，清廷急派新军入川镇压。10月，革命派于湖北发起武昌起义，南方各省随后纷纷宣布独立。清廷任命北洋新军统帅袁世凯为内阁总理大臣，成立内阁并统领清军。袁世凯一方面于阳夏战争压迫革命军，另一方面却暗中与革命党人谈判，形成南北议和。1912年1月1日，中华民国于南京宣布立国，孙中山在南京就任临时大总统。2月12日，袁世凯迫使宣统帝溥仪颁布退位诏书，将权力交给袁世凯政府，清朝灭亡。
后续情况
根据《清室优待条件》，清室成员得以继续住在紫禁城中，宫廷内尊号、待遇、年号保持不变，保留太监、侍卫、宫女，保留内务府、宗人府、慎刑司等机构，依然称孤道寡，封官赐谥，保持帝王气派，与民国政府分庭抗礼，俨然国中之国，史称“逊清小朝廷”。
日本于九一八事变占领中国东北，1932年扶持溥仪建立伪满洲国，其最终随着1945年苏联的八月风暴行动而亡。
疆域
领土范围
1760年，平定准噶尔汗国的清朝疆域达到极盛，东北与俄罗斯帝国分界额尔古纳河、格尔必齐河与外兴安岭，这条疆线直到鄂霍次克海与库页岛；正北与沙俄分界萨彦岭、沙毕纳依岭、恰克图与额尔古纳河；西北与哈萨克汗国等西北藩属国分界萨彦岭、斋桑泊、阿拉湖、伊塞克湖、巴尔喀什湖至帕米尔高原；西南与印度莫卧儿帝国、尼泊尔、不丹等国分界喜马拉雅山至野人山；正南大致上与现今中华人民共和国与东南亚国家的分界相近，包含南坎、江心坡及缅甸北部等地；东与日本、琉球分界日本海与东海，与朝鲜王朝沿图们江、鸭绿江分界；清朝还领有台湾、澎湖、海南及南海的南海诸岛（时称千里石塘、万里长沙、曾母暗沙），极盛时期总面积可达1316万平方公里，至晚清1908年缩水至1135万平方公里。
行政区划
内地
清朝内地行政区划
直隶省、江苏省、安徽省、山西省、山东省、河南省
陕西省、甘肃省、浙江省、江西省、湖北省、湖南省
四川省、福建省、广东省、广西省、云南省、贵州省
1884年（光绪十年）置新疆省
1887年（光绪十三年）置福建台湾省
1905年（光绪三十一年）置江淮省后旋即撤裁