苏远山突然觉得嘴皮有点干，沉默许久后，他抿着嘴唇，轻声道。
“我得承认，我这段时间确实对光刻机领域关注得少了一点。”
曲慧此时已经放下书，望着他，正色道：“你不止是少一点，光刻机是不能放弃的。”
“是。”苏远山点头，再次沉默几秒后望向郑振川：“郑叔，就算德远采购明年的krf光刻机，能够让你们拥有竞争力吗？”
“或者说，你们宏芯真的到了必须得靠德远采购才能活下去的时候了？”
“不……当然不是。”郑振川马上摇头：“如果德远能够采购我们的光刻机，国内一帮人肯定会闭嘴的，更何况……我们还有双工件台呢。”
苏远山微微点头。
这个理由他认可。
从规模上，德远当然比不过intel，德仪，nec这种老牌半导体企业，甚至连岛上的联电都比不过。
但从制程工艺和技术实力来看，德远的崛起确实带着浓浓的远芯印记，短短四年时间不到，就追上了制程领域的第一梯队，堪称半导体行业的奇迹。
而从德远上个季度公布的财报来看，德远也跻身进了十大晶圆厂。甚至因为并没有涉足目前正受冲击的dra和德仪，一举进入了前六。
如果能拿到德远的“认可”，显然对宏芯的光刻机是有正面宣传意义的。
沉默着，苏远山突然望向曲慧。
“曲慧姐，你们那边的定位精度在一年内能提到多少？有计划表没有？”
——工件台的精度与光刻机的制程工艺是两码事，一般来说，0.5微米制程，搭配纠偏系统的话，需要的套刻精度是0.1微米以下。
套刻，指的是，在依次曝光完硅晶片的所有field后，更换掩膜进行重复曝光，这两次曝光的过程中的掩膜，需要精确地套叠在一起，因此被称为套刻。
而众所周知，工件台是光刻机工作时所有工序的平台，因此套刻精度又受工件台定位精度的直接影响。
在引入误差后，双工件台的精度起码还得提升个10倍，达到0.05微米的精度以上，才能真正用在0.25微米的制程工艺上——这才是远芯需要的光刻机。
而后世的工件台，定位精度甚至能够达到2纳米以下！加上多重曝光，理论上甚至能实现2纳米的制程。
现在曲慧说定位精度在0.5微米，那意思就是首都精科那边只能算是造出了双工件台，要真正运用在光刻机上，还需要进行不断的调试。
苏远山对机械不甚了解，他只知道，如果零部件误差在允许范围内的话，那么精度的提升就只能依靠纠偏系统了。
纠偏系统，顾名思义，就是纠正偏移的系统。它的工作原理说简单也简单，就是搭配光栅传感器，把精度控制、调整在可以接受的范围内。但说复杂也复杂，因为它对运动控制模块的要求相当高。
曲慧合上书，回答道：“计划当然是有计划，我们接下来会一直继续优化纠偏系统和运动控制模块，但现在没办法告诉你准确的进度。”
苏远山慢慢点头，突然问道：“首都高科对双工件台的出口计划是什么？”
郑振川和曲慧一对视，两人同时沉默。
片刻后，郑振川轻声道：“小山，我们被国外掐脖子掐得够厉害了，我认为我们的双工件台不需要出口。”
曲慧同样点头：“我也认为。”
……
苏远山长长地叹了一口气。
直到现在，他才终于弄明白了这二人的真正来意。
曲慧的想法，大概是她更多从要之前被掐脖子掐得狠了，现在终于轮到自己领先，要“爽一把”的角度来考虑。
而郑振川，则是考虑到双工件台所带来的效率提升，必定会赋予宏芯光刻机强大的竞争力——说白了，就是郑振川把国产光刻机的未来押在了双工件台上。
但显然……首都精科那边的想法不一样。
毕竟这是产品，而不是技术。
是，产品是存在着被山寨的可能，但别忘了，有种东西叫防拆自毁装置——这还是西方搞出来的。
一旦出口，则意味着首都精科将会拥抱更大的市场，拥有更高的平台，甚至还极有可能用双工件台来换取某些领域封锁的解除。
而世人皆知，远芯在半导体领域内，拥有无比的前瞻和影响力。
如果远芯能够表明态度，那么这双工件台到底是被列为禁止单独出口的设备，还是可以供货给目前世界所有的光刻机企业……或许就能尘埃落定了。
——这便是两人在双工件台刚好完成“拼装”，还处于保密期就来找苏远山的原因。
……
苏远山当然知道双工件台的重要性。
他而且还知道，在历史上的4年后，al就会利用上双工件台技术。而数年后，更是依靠磁悬浮双工件台和浸润式技术大杀四方，彻底把尼康佳能彻底打落尘埃。
甚至尼康的老总在后世还说过这么一句话——“你们或许能够搞定光源，但是工件台对你们来说，那太难了。”
当然，事实证明，他这句话错得离谱。
曲慧见苏远山一直沉默，终于忍不住了：“小山，你表个态。”
“我怎么表态？”苏远山抬起头，眼神中全是纠结：“理智告诉我，如果首都精科能够在一年内把双工件台的精度提高到可以适配最先进的制程，那么你们掌握的将是这个世界最强大的光刻机三大核心系统之一。”
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