随后,杨林又饶有兴致地在众人的陪同下参观了化学机械抛光(cmp)车间,光刻车间等。
在光刻车间,这里甚至连灯光照明都受到了限制,所有工作都在昏黄的光线下进行。
杨林亲眼看到了激光如何将掩膜缩印到晶圆,算是真正了解了晶圆制造的全过程。
唯一让人觉得可惜的是,这些深紫外侵入式光刻机全部都是荷兰阿斯麦(al)公司和日本尼康的产品,目前还没有国产的可以代替。(【iuu123.com 爱优小说网】。)
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